隨著(zhù)半導體制程技術(shù)的飛速發(fā)展，芯片線(xiàn)寬已經(jīng)進(jìn)入納米級。與此同時(shí)，氣態(tài)分子污染物(AMC)也比顆粒污染物小了幾個(gè)數量級，逐漸取代顆粒污染物成為影響產(chǎn)業(yè)制程產(chǎn)率的關(guān)鍵因素之一。對微電子半導體制造業(yè)來(lái)說(shuō)，氣態(tài)污染物會(huì )危害生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵環(huán)節，造成半導體晶體表面的氧化和侵蝕，引起成品合格率降低。因此，微電子廠(chǎng)房?jì)确肿蛹壙諝馕廴镜目刂埔苍絹?lái)越重要。

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